AES介绍
俄歇电子光谱仪(AES)是一种分析材料表面组织形态及化学结构的仪器，对浅层表面擅长，广泛应用于机械、电子、材料、化工等研究领域。
其原理为利用电子束为激发源，当原子的内层电子受激发而脱离原子时，原子的外层电子将很快的迁降至内层电子的空穴并释出能量，而激发另一外层电子使其脱离原子，激发而脱离原子束缚离开试片表面的电子即为
俄歇电子(Auger Electron)，此电子同样具有代表该原子特性的能量，因此分析该俄歇电子（通过明暗成像的方式）可以得到材料成份的信息。
应用领域：
Survey of the sample surface (样品表面元素分析)
Auger depth profile (以Ar+离子枪蚀刻样品表面，得到元素纵深分析)
Auger mapping (在选定范围内作元素分布影像图)
ECSA(XPS光电子能谱) (以X光照射样品表面，观测被游离的光电子，判定其材料元素键结分析)
使用设备
PHI 710
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PHI 710 | |
| 加速电压 | 0.5~25KV | |
| 放大倍率 | 200X~500000X | |
| 俄歇电子影像解析率 | 12nm | |
| XPS X光源 | 双阳极Mg Kα/Al Kα(面积>5mm) | |
| 样品最大尺寸 | 直径10mm, 高度5mm | |
样品的导电性能对测试结果影响较大，不导电材质需要先做喷铂或喷金处理。
| AES观测 | |
| AES 1 | AES 2 |
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| XPS 1 | XPS 2 |
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